无尘室是半导体等行业非常关键的工艺场所，以往的监控主要针对粉尘颗粒，但无尘室循环空气中的痕量污染物分子也会对工艺过程和空气过滤器造成损害，所以对AMC（空气分子污染物）的监测越来越受到重视，这些污染物主要包括VOC(挥发性有机物)、挥发酸和氨气等，我们拥有ORION 3100系统（采用CRDS技术-主要测量氨气和挥发酸），以及 Micro VOC-CAM系统（采用GC-FID技术-主要测量VOC）可以实时测量多达16个采样点的ppb 级污染物含量……

 VOC(挥发性有机物)     挥发酸和氨气等